본 발명은 상면에 구비되어 외부에서 공급하는 가스를 내부로 인입하는 한 쌍의 가스인입구와, 한 쌍의 상기 가스인입구를 통해 내부로 인입한 가스를 수용하는 제1,제2 챔버를 구비한 상부몸체와, 상부에 형성되어, 상기 상부몸체의 제2챔버에서 낙하된 가스를 수용하는 제3챔버와, 상기 제3챔버의 하부에 배치되어 플라즈마노즐이 고정되는 전극블록과, 상기 전극블록의 측면을 따라 형성되어, 상기 제3챔버에 수용된 가스를 하부로 유도하는 복수의 가이드유로와, 상기 전극블록의 일측단에 연결되어 외부로 노출되어, 외부에서 제공하는 전원을 전극블록으로 제공하는 전원단자부를 구비한 하부몸체 및 상기 하부몸체의 전극블록에 일정한 간격으로 병렬 연결되고, 상기 가이드유로를 통해 유도된 가스를 플라즈마 상태로 방출하는 복수의 플라즈마노즐을 포함하여, 가스 와류의 억제는 물론, 고른 가스분포로 모든 플라즈마노즐에 균일한 압력으로 가스공급이 이루어지도록 하며, 전력의 손실을 최소화하도록 균등한 병렬 팁 전극들의 배열로 구성되어, 전극 상호 간의 간섭도 발생하지 않으며 별도의 조절 가변저항이 없이 효율적이고 안정적인 방전이 구현되고, 플라즈마를 방출할 시 장시간 작동 가능한 40도 이하의 저온 및 저 전력의 안정적인 플라즈마의 발생으로 열 손상에 민감한 재료의 대 면적 플라즈마 처리를 실현케 하는 저온 상압 플라즈마 제트 장치를 제공한다.

A61N 1/44(2006.01.01)
A61L 2/14(2006.01.01)

A61N 1/44(2013.01)