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과기정통부, 민간 노하우·장비 더해 ‘공공나노팹’ 반도체 연구지원 거점으로 도약

작성자 이태승 작성일 2026. 11. 12 조회 조회수 13

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과학기술정보통신부는 11월 11일 수원 한국나노기술원에서 「삼성전자-한국나노기술원 공공나노팹 운영 효율화 컨설팅 결과보고회 및 모아팹 중고장비 이전식」을 열었습니다.

이번 행사는 2025년 3월 과기정통부와 삼성전자·SK하이닉스·DB하이텍이 맺은 업무협약의 후속 조치입니다.

삼성전자 DS부문 상생협력센터는 6월부터 10월까지 4개월간 한국나노기술원에 반도체 팹 운영·관리 노하우를 전수하는 컨설팅을 했습니다.

나노종합기술원과 나노융합기술원에 이은 세 번째 컨설팅입니다.

컨설팅 결과는 장비별 표준작업절차서(SOP), 점검표, 교육·운영 기준에 반영됐습니다.

양산 기업에서만 쓰던 '현장점검 매뉴얼'도 공공나노팹에 맞게 처음 개발해 적용했습니다.

장비 이전식에서는 「모아팹 중고장비 활용 지원사업」을 통해 삼성전자의 8인치 자동 패턴 박막 측정 장비가 한국나노기술원으로 이전됐습니다.

이 장비는 기업과 대학·연구소의 연구개발과 기술지원, 전문인력 양성 프로그램에 활용됩니다.

과기정통부는 이 컨설팅 모델을 ETRI, 서울대 반도체공동연구소, DGIST 등 다른 모아팹 참여기관으로 순차적으로 넓힐 계획입니다.


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